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SiC外延設(shè)備石墨部件

產(chǎn)品特點(diǎn)

  涂層厚度均勻,極差<10um

  金屬雜質(zhì)含量<2ppm 本征濃度<2E+14

  涂層致密,無(wú)針孔,耐刻蝕,壽命長(zhǎng)

  外延產(chǎn)品缺陷少、電阻和濃度均勻性好

應(yīng)用領(lǐng)域

  SiC功率器件

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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

性能優(yōu)異,質(zhì)量穩(wěn)定

定制化開(kāi)發(fā),交貨期短

快速的售后服務(wù)響應(yīng)