獨家CVD數(shù)據(jù)庫
實現(xiàn)SiC晶粒形態(tài)自主調(diào)控，滿足涂層定制化開發(fā)需求
| 材料 | 碳化硅 |
| 雜質(zhì)含量ppm | <2 |
| 密度（g/cm3） | 3.2 |
| 導(dǎo)熱系數(shù)(w/m-K) | 200~360 |
| 熱膨脹系數(shù)(10-6/K) | 4.0-4.5 |
| 硬度(kg/mm2 ) | 2900~3300 |
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