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GaN外延設備石墨部件

產(chǎn)品特點

  涂層厚度均勻,極差<10um

  金屬雜質含量<2ppm

  涂層致密,無針孔,耐刻蝕,壽命長

  行星盤一致性好,均溫性好,盤間溫差<2℃

應用領域

  GaN功率器件

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產(chǎn)品優(yōu)勢

性能優(yōu)異,質量穩(wěn)定

定制化開發(fā),交貨期短

快速的售后服務響應